产品用(yòng)途:HMDS真空涂胶烘箱主要用(yòng)于半导體(tǐ)行业,HMDS预处理(lǐ)系统通过对烘箱HMDS预处理(lǐ)过程的工作温度、处理(lǐ)时间、处理(lǐ)时保持时间等参数可(kě)以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理(lǐ)后的硅片接触角,降低了光刻胶的用(yòng)量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
一、产品规格:
型号:BD/HMDS-6090 内形尺寸:450×450×450
型号:BD/HMDS-6210 内形尺寸:560×640×600
二、 技术参数:
1、控温范围:RT+10~250℃
2、温度分(fēn)辨率:0.1℃
3、温度波动度:±1℃
4、达到真空度:小(xiǎo)于133Pa
5、真空度:100Pa~100000Pa
6、定时范围:1~9999min
7、工作室材料:316L
8、样品架:2块、3块
9、真空泵:4L/S
10、電(diàn)源電(diàn)压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五線(xiàn)制
11、总功率:3000W、4500W
三、产品特点:
1、外壳采用(yòng)冷轧钢板制造,表面静電(diàn)喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用(yòng)优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分(fēn)布在内胆外壁四周,内胆内无任何電(diàn)气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物(wù)體(tǐ)一目了然。
2、箱门闭合松紧能(néng)调节,整體(tǐ)成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
3、HMDS气體(tǐ)密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能(néng)佳,确保HMDS气體(tǐ)无外漏顾虑。
四、HMDS预处理(lǐ)系统操作流程:
1、首先确定烘箱工作温度;
2、预处理(lǐ)程序為(wèi):打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分(fēn)受热,减少硅片表面的水分(fēn);
3、再次开始抽真空,充入HMDS气體(tǐ),在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分(fēn)与HMDS反应;
4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。
五、HMDS真空涂胶烘箱控制系统:
1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器;
2、富士微電(diàn)脑双数显温度PID控制器,控温精确可(kě)靠;
六、保护系统:
1、漏電(diàn)保护;
2、超温保护;
3、缺液保护;
七、设备使用(yòng)条件:
1、环境温度:5℃~+28℃(24小(xiǎo)时内平均温度≤28℃)
2、环境湿度:≤85%R.H
3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分(fēn)不可(kě)放置东西;
八、HMDS真空涂胶烘箱服務(wù)承诺:
保修十八个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用(yòng)户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。